哪些材质可以使用平面蚀刻加工

平面蚀刻加工适用于许多材料，常见的可使用平面蚀刻加工的材料包括但不限于以下几种：

金属材料：如铜、铝、钢、不锈钢等金属材料，可以通过酸性或碱性蚀刻液进行平面蚀刻加工。

半导体材料：如硅(Si)、砷化镓(GaAs)、砷化锗(Ge)等半导体材料，可以通过干蚀刻或湿蚀刻方法进行平面蚀刻加工。

光学材料：如玻璃、石英等光学材料，可以通过酸性或碱性蚀刻液进行平面蚀刻加工。

聚合物材料：如聚苯乙烯(PS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等聚合物材料，可以通过溶剂或化学反应来进行平面蚀刻加工。

晶体材料：如硅藻土、石墨、氧化铝等晶体材料，可以通过酸性或碱性蚀刻液进行平面蚀刻加工。